
真空测量技术是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度的技术。测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真空度)的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压强P来表示。气体压强的测量单位是牛顿/米2,简称帕(Pa)。
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真空测量技术是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度的技术。测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真空度)的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压强P来表示。气体压强的测量单位是牛顿/米2,简称帕(Pa)。
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