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刻蚀工艺

时间:2026-04-14 10:52:00 浏览:818次

刻蚀工艺

刻蚀(Etch)的目的是将光刻得到的光刻胶图形转移到晶圆表面的薄膜上,即利用光刻胶膜的覆盖和保护作用,以化学反应或物理作用的方式去除没有光刻胶保护的薄膜,完成图形转移的目的。

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标签:刻蚀工艺,刻蚀,工艺,分类

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