清华大学精密仪器系（Department of precision instrument, Tsinghua University）隶属清华大学机械工程学院。
清华大学精密仪器系始建立于1932年，其前身为成立于1932年的清华大学工学院机械系，20世纪50年代院系调整为清华大学机械制造系，20世纪60年代初又调整为精密仪器与机械系，20世纪80年代更名为精密仪器与机械学系，2013年学科调整重组，成立新的精密仪器系。
精密仪器系现有在校博士研究生391人，硕士研究生93人；拥有2门国家级精品课程、3门北京市精品课程、6门清华大学精品课程，4门课程通过首批国家级一流本科课程认定；建有3个国家级科研平台、3个教育部重点实验室、1个北京市重点实验室、3个自主批建科研机构和3个校企联合科研机构；现有院士2人、国家级高层次人才计划入选者19人次、国家级青年人才计划入选者18人次，在职教师合计共83人；建有教育部创新团队、国防科技创新团队、重点领域创新团队各1个。
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